施工中應重點控制管道加工、管道施工和設備安裝質量。管道加工時應著重做好風管設備的清潔和管道加工過程中的密封措施。管道加工時應采用鍍鋅鋼板制作,滿足平整、光滑、堅固及耐侵蝕的要求。消聲器內充填的消聲材料應不產塵、不掉渣(纖維)、不吸潮、無污染,不得用松散材料,纖維材料應為氈式材料,外覆可以防止纖維穿透的包材。不應用泡沫塑料和離心玻璃棉。風管制作前用中性洗滌劑去油污,制作過程中防止劃傷,制作結束用白綢布揩擦內表面應無任何油污、灰跡為清洗合格。風管管段加工清洗合格后用塑料薄膜保護好風管兩端再運至現場安裝,所有風管配件及設備在安裝前須擦拭干凈,否則不可安裝。管道連接及設備安裝過程中應注意做好密封措施,避免二次污染。由于軟管、軟接頭有滯塵的問題,所以凈化管道和機動設備連接時可用軟接頭,但在管路上不宜使用。
無塵車間不同級別空氣潔凈度的空氣過濾器的選用、布置要點:對于300000級空氣凈化處理,可采用亞過濾器代替過濾器;空氣潔凈度100級、10000級及100000級的空氣凈化處理,應采用初、中、過濾器三級過濾器;中效或空氣過濾器宜按小于或等于額定風量選用;中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節的正壓段;或亞空氣過濾器宜設置在凈化空氣調節系統的末端。
●選址原則:無塵車間地址的選擇應符合有利生產、方便生活、節省投資和經營費用的原則。廠址應設在自然環境和水質較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產、節能的區域,應遠離大量散發粉塵、煙霧、有氣體和微生物的區域,如機場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導風向的上風側面,且有一定的防護距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上 。
●動線規劃要點:要檢討分析人車路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業的流程等,盡量縮短動線,并避免交叉,以防止交叉污染。作業者、化學藥品、材料等動線勿集中;無塵車間四周,宜設緩沖區;制造裝置的出入,不要對作業產生大影響。
●有些空氣凈化系統的空氣,如經處理仍不能避免交叉污染時,則不能循環使用:固體物料的粉碎、稱重、配料、混合、制料、壓片、包衣、灌裝等工序;用有機溶媒精制的精制、干燥工序;生產區;病原體操作區;工藝過程中產生大量有害物質、揮發性氣體的生產工序;固體口服制劑的顆料
●節能原則:無塵車間里存在大量可以節約能源的地方,例如暖氣、通風和空調(HVAC)、工藝冷卻、壓縮空氣以及一些其他的設施。 HVAC系統消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。的設計和設備需要很大的前期投入。那種'小處節約大處浪費'的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經濟漩渦當中 。