一.單向流潔凈室風量測定

       垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室的風量采用斷面平均風速和斷面積乘積計算，斷面選擇和斷面測點布置。

       二.非單向流潔凈室風量測定

       風管法和風口法可用于測量非單向流潔凈室的風量。

       1.風管法測量風量

       風管測量管測量段應選擇氣流相對均勻穩定的地方，并與局部阻力的距離。在局部阻力之前，測量段的風管直徑長度不應小于3倍，在局部阻力之后，測量段的長邊長度不應小于5倍。

       對于矩形風管，測面分為幾個相等的小截面，盡可能接近方形，邊長不得超過200mm。

       測量點在小截面的中xin。整個測量段的測點數不少于3個。

       對于圓形風管，將測量截面分為幾個面積相等的同心環，每個環上有四個測點，四個測點應在兩個垂直直徑上。

       2.風口法測量風量

       施工驗收規范JGJ71中規定了兩種方法：

       首先，對于帶過濾器的風口，可以根據風口的形式選擇與風口截面相同的輔助風管。其長度是風口邊長的兩倍，連接到被測風口的外部。輔助風管出口表面至少設置6個測點，用熱球風速計測量點風速，然后用斷面平均風速乘以風口凈面積計算風量。

       其次，對于類似擴散板的風口，可以根據擴散板的風阻曲線和實測擴散板的阻力來查明風口的風量。

電子制造業萬級無塵車間的潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內易產生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間，這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間都是屬于電子制造行業潔凈室的重要組成部分，由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。今天就隨康德萊凈化工程公司一起來了解下吧! 電子制造業萬級無塵車間的潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、潔凈室截面風速按設計或規范受控，另外該類潔凈室對靜電要求嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內易產生靜電，造成CMOS集成損壞。

1、萬級芯片無塵車間參數要求換氣次數：100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次;100≥500次; 　　2、壓差：主車間對相鄰房間≥5Pa; 　　3、平均風速：10級、100級0.3-0.5m/s; 　　4、溫度：冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃; 　　5、濕度：45-65%;GMP車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。 　　6、噪聲：≤65dB(A); 　　7、照度：300LX; 　　8、新風補充量是總送風量的10%-30%。 　　萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現。

       為了統一我國潔凈室的設計標準，更好動正在興起的百級建設的健康發展，在1978年由 建委立項編寫 標準《潔凈廠房設計規范》、確定并成立了由中國電子工程設計院(當時的電子工業部第十設計研究院)為主編單位的“規范編寫組”。

       凈化工程單位關于各種氣流的特點、創造的潔凈度、應用范圍

       單向流氣流的凈化原理是活寒和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔凈氣流置換污染氣流。包括有垂直單向流和水平單向流。

       垂直單向流是氣流以一定的速度(0.25m/s-0.5m/s)從頂棚流向地坪的氣流流型。這種氣流能創!造100級、10級、1級或更高潔凈級別。但其初投資很高、運行費很高，凈化工程單位在工程中盡量將其面積壓縮到較小，用到bi須用的部位。

       水平單向流是氣流以一定的速度(0.3m/s-0.5m/s)從一面墻流向對面的墻的氣流流型。該氣流可創造100級的凈化級別。其初投資和運行費低于垂直單向流流型。

非單向流氣流的凈化原理是稀釋原理。一般型式為髙效過濾器送風口頂部送風：回風的型式,有下部回風、側下部回風和頂部回風等。依不同送風換氣次數，實現不同的凈化級別，其初投資和運行費用也不同。

       混合流氣流是將垂直單向流和非單向流兩種氣流組合在一起構成的氣流流型。這種氣流的特,點是將垂直單向流面積壓縮到較小，用大面積非單向流替代大面積單向流以利節省初投資和運行費。