二）疏散距離
潔凈廠房的疏散距離應滿足《建筑設計防火規范》GB50016的要求。潔凈廠房內遠工作地點或潔凈區疏散口到外部出口或樓梯的距離應符合下表要求。
丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于以上規定的安全疏散距離的1.5倍；對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人／㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。
精密電子凈化工之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。
精密電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發展上極為重視的項目
監測內容主要包括以下信號：
空氣狀態參數監測：新風溫濕度、預熱溫度、回風溫濕度、送風溫濕度以及溫濕度設定值等。
設備運行狀態監測：初、中效過濾器狀態監測，在過濾器兩側設置風壓差開關，壓差開關動作設定值在0～300Pa 范圍內調整，當過濾器前后壓差△ P>設定值時，壓差開關動作，系統產生報警信號，提醒管理人員進行更換或清洗；送風機運行狀態/ 故障監測、排風機運行狀態/ 故障監測、值班風機運行狀態/ 故障監測、排風閥S D 1～S D 4開關狀態監測等。
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