二）疏散距離
潔凈廠房的疏散距離應滿足《建筑設計防火規范》GB50016的要求。潔凈廠房內遠工作地點或潔凈區疏散口到外部出口或樓梯的距離應符合下表要求。
丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于以上規定的安全疏散距離的1.5倍；對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人／㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。
凈化車間風量、換氣次數、靜壓差：
在潔凈室體積確定的情況下，換氣次數由該室的送風量決定，而靜壓差取決于房間的送風量與回風量、排風量的差值。系統總送風量、新風量、總排風量和對外壓差可以通過調整風機頻率轉速或總閥門開啟度來實現，各房間的風量和壓力則可通過調整分支管路閥門開度來實現。
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