潔凈廠房的特點是生產人員崗位固定，熟悉工作場所，熟悉疏散路線，有利于人員的安全疏散。一般來說，潔凈廠房設計時應注意合理組織疏散路線、合理設置安全出口，使平面復雜的無塵車間滿足安全疏散要求。
一）安全出口
為保證安全疏散的可靠性，潔凈廠房每一生產層、每一防火分區或每一潔凈區的安全出口的數量，均不應少于兩個。安全出口應分散均勻布置，從生產地點至安全出口不用經過曲折的人員凈化路線。
潔凈廠房符合下列要求時，可設置一個安全出口；
1、甲、乙類生產廠房每層的總建筑面積不超過50㎡，且同一時間內的生產人員總數不超過5人；
2、丙類生產區的建筑面積不超過250㎡，且同一時間內生產人數不超過20人時；
3、丁類生產區的建筑面積不超過400㎡，且同一時間內生產人數不超過30人時。
潔凈區與非潔凈區和潔凈區與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉門、側拉門以及電控自動門。
精密電子凈化工之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。
精密電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發展上極為重視的項目
無塵室無塵車間的等級標準
先說什么是無塵室，無塵室就是把壓力，溫度，濕度，氣流的分布和塵埃還有速度，控制在一定范圍內的一個空間。
而關于他等級標準是依據美國聯邦頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，無塵室的等級是用在一定塵粒的尺寸的級數來表示的。制造集成電路所需要的無策劃你是的潔凈度就必須高于1000級，聯邦規格的等級中Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。比如說：等級10是指空氣中俺有10個0.5以下的時候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個。
在jis的標準下，無塵室的潔凈度有8個等級，也就是說：在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等級。
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