無塵室無塵車間的等級標準
先說什么是無塵室，無塵室就是把壓力，溫度，濕度，氣流的分布和塵埃還有速度，控制在一定范圍內的一個空間。
而關于他等級標準是依據美國聯邦頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，無塵室的等級是用在一定塵粒的尺寸的級數來表示的。制造集成電路所需要的無策劃你是的潔凈度就必須高于1000級，聯邦規格的等級中Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子，及稱為[等級○○]。比如說：等級10是指空氣中俺有10個0.5以下的時候。自然界大氣中一般含有的微粒是在300000到30000000個。
在jis的標準下，無塵室的潔凈度有8個等級，也就是說：在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3，一次類推。而一般潔凈度就是指空氣的潔凈等級。
設置消毒運行模式的目的是利用潔凈的空氣對室內的灰塵和有害物體進行清洗，使室內空氣滿足凈化要求，達到凈化指標，以便投入生產。除塵是采用多級空氣過濾器的方式實現的，而殺菌則可以采用多種方式，如涂光備在《制藥工業的潔凈與空調》一書中介紹的紫外線殺菌燈就是其中的一種常見的殺菌方式，而本文介紹的是采用臭氧發生器殺菌的方式。臭氧發生器更適合于集中式凈化空調系統，因為根據殺菌區域的容積大小選定合適的臭氧發生器，可以直接設置在凈化空調機組內或送風管道內，在殺菌過程中臭氧發生器連續產生臭氧分子，不斷地對潔凈區域內的空氣進行殺菌處理。
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