二）疏散距離
潔凈廠房的疏散距離應滿足《建筑設計防火規范》GB50016的要求。潔凈廠房內遠工作地點或潔凈區疏散口到外部出口或樓梯的距離應符合下表要求。
丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于以上規定的安全疏散距離的1.5倍；對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人／㎡，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。
精密電子凈化工之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣等之污染物排除，并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給于特別設計之密閉空間。
精密電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來，由于技術之創新發展，對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發展上極為重視的項目
此外，系統顯示的控制信號有：新風閥開度、預熱蒸汽閥開度、表冷器閥門開度、二次加熱器蒸汽閥開度、干蒸汽加濕器閥門開度、排風機變頻器輸出頻率等。
凈化空氣處理機組控制器的控制功能除了常規控制（包括：送風機的啟停控制、排風機啟停控制）功能外，主要是溫濕度自動控制功能和正壓自動控制功能。
◆ 啟停控制：凈化空調啟停控制主要指風機的啟動和停止，包括送風機（或值班風機）、排風機。啟停控制方式可分為程序自動控制、程序手動控制和手動控制三種。
◆ 手動控制：當配電柜上的“手動/ 自動”轉換開關處于“手動”狀態時，若要操作風機，必須在控制柜上通過“啟動”或“停止”按鈕控制設備啟停（此時自動操作無效）。
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